Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственно из пучков ионов
Шевчук С.Л.
Настоящая диссертация посвящена проблеме развития метода реактивного ионно-лучевого синтеза (РИЛС) тонких пленок непосредственно из широких низкоэнергетичных пучков ионов высокой интенсивности, формируемых ионным источником (ИИ) с замкнутым дрейфом электронов.
Категории:
Год:
2002
Издание:
Кандидатская диссертация
Язык:
russian
Страницы:
161
Файл:
PDF, 8.29 MB
IPFS:
,
russian, 2002
Litres
Хотите добавить книжный магазин? Свяжитесь с нами по support@z-lib.do
Конвертируйте файлы
Больше результатов поиска
Другие преимущества 
