Импульсный отжиг полупроводниковых материалов

Импульсный отжиг полупроводниковых материалов

Двуреченский А.В., Качурин Г.А., Нидаев Е.В., Смирнов Л.С.
Насколько вам понравилась эта книга?
Какого качества скаченный файл?
Скачайте книгу, чтобы оценить ее качество
Какого качества скаченные файлы?
Москва, Наука 1982, Табл 24, Ил 127, Библиогр 427 назв.В монографии систематизированы данные по импульсному отжигу полупроводниковых материалов, в основном по отжигу имплантированных ионами слоев наносекундными, миллисекундными импульсами и сканирующими лучами. Основное внимание уделено отжигу радиационных дефектов и кристаллизации разупорядоченных слоев, активации и перераспределению примеси. Приводятся типовые расчеты тепловых полей, их релаксации и описание техники импульсных отжигов. Обсуждаются дискуссионные вопросы о влиянии атермических факторов, выделены нерешенные проблемы, приведены примеры практического использования импульсных обработок.
Монография является введением в новую быстро развивающуюся область — ионно-импульсную модификацию материалов. Она рассчитана на специалистов — физиков и инженеров, занимающихся проблемами твердотельной электроники.
Язык:
russian
Файл:
DJVU, 6.60 MB
IPFS:
CID , CID Blake2b
russian0
Читать Онлайн
Выполняется конвертация в
Конвертация в не удалась